Al-doped zinc oxide film deposition in function of power by ac bipolar pulse in reactive magnetron sputtering

J. García-García, J. Pacheco-Sotelo, R. Valdivia-Barrientos, C. Rivera-Rodríguez, M. Pacheco-Pacheco, Jean Jacques Gonzalez, G. Soria-Arguello, M. Nieto-Pérez

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

1 Cita (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Al-doped zinc oxide film deposition in function of power by ac bipolar pulse in reactive magnetron sputtering'. En conjunto forman una huella única.

Física y astronomía