Validation of a CMOS-MEMS accelerometer based on FGMOS transduction by electromechanical modification of its coupling coefficient

Título traducido de la contribución: Validación de un acelerómetro CMOS-MEMS basado en traducción FGMOS por la modificación electromecánica en su coeficiente de acoplamiento

G. S. Abarca-Jiménez, J. Mares-Carreño, M. A. Reyes-Barranca, B. Granados-Rojas, S. Mendoza-Acevedo, J. E. Munguía-Cervantes, M. A. Alemán-Arce

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › revisión exhaustiva

1 Cita (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Validación de un acelerómetro CMOS-MEMS basado en traducción FGMOS por la modificación electromecánica en su coeficiente de acoplamiento'. En conjunto forman una huella única.

Física y astronomía

Ingeniería y ciencia de los materiales

Química