Effect of xenon bombardment on ruthenium-coated grazing incidence collector mirror lifetime for extreme ultraviolet lithography

Martin Nieto, Jean Paul Allain, Vladimir Titov, Matthew R. Hendricks, Ahmed Hassanein, Daniel Rokusek, Christopher Chrobak, Charles Tarrio, Yaniv Barad, Steven Grantham, Thomas B. Lucatorto, Brian Rice

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › revisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Effect of xenon bombardment on ruthenium-coated grazing incidence collector mirror lifetime for extreme ultraviolet lithography'. En conjunto forman una huella única.

Física y astronomía