Dynamic Response Considerations in Typical CMOS-MEMS Accelerometer Structures

Benito Granados-Rojas, Mario A. Reyes-Barranca, Griselda S. Abarca-Jimenez, Yesenia E. Gonzalez-Navarro

Producción científica: Capítulo del libro/informe/acta de congresoContribución a la conferenciarevisión exhaustiva

1 Cita (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Dynamic Response Considerations in Typical CMOS-MEMS Accelerometer Structures'. En conjunto forman una huella única.

Física y astronomía

Ingeniería y ciencia de los materiales