Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio

R. Sánchez-Fraga, V. H. Ponce-Ponce, M. A. Ramírez-Salinas, H. Estrada-Vázquez, J. Munguía-Cervantes

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio'. En conjunto forman una huella única.

Ingeniería y ciencia de los materiales

Química