Design considerations for monolithic integration of a micro hotplate temperature controller in a MEMS gas sensor

S. Mendoza-Acevedo, M. A. Reyes-Barranca, L. M. Flores-Nava, A. Ávila-García, J. L. González-Vidal

Producción científica: Capítulo del libro/informe/acta de congreso › Contribución a la conferencia › revisión exhaustiva

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Design considerations for monolithic integration of a micro hotplate temperature controller in a MEMS gas sensor'. En conjunto forman una huella única.

Ingeniería y ciencia de los materiales