AC bipolar pulsed power supply for reactive magnetron sputtering

J. García-García, J. Pacheco-Sotelo, R. Valdivia-Barrientos, Carlos Rivera-Rodríguez, M. Pacheco-Pacheco, Jean Jacques Gonzalez, M. Nieto-Pérez

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'AC bipolar pulsed power supply for reactive magnetron sputtering'. En conjunto forman una huella única.

Física y astronomía