Study for the micromachining optimization of micro hotplates used in MEMS-CMOS gas sensors

S. Mendoza-Acevedo, M. A. Reyes-Barranca

Producción científica: Capítulo del libro/informe/acta de congresoContribución a la conferenciarevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Study for the micromachining optimization of micro hotplates used in MEMS-CMOS gas sensors'. En conjunto forman una huella única.

Ingeniería y ciencia de los materiales