Roughness characterisation of gas phase micromachining process suitable for fabricating silicon based microsystems

Muthukumaran Packirisamy, I. Stiharu, L. Flores

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › revisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Roughness characterisation of gas phase micromachining process suitable for fabricating silicon based microsystems'. En conjunto forman una huella única.

Economía y empresa

Ingeniería y ciencia de los materiales