Photoluminescence of silicon oxide films enriched by Si or Ge

Título traducido de la contribución: Fotoluminiscencia de películas de óxido de silicio enriquecidas con Si o Ge

T. V. Torchynska, J. Aguilar-Hernandez, L. Schacht Hernández, Y. Goldstein, A. Many, J. Jedrzejewski, A. V. Kolobov

Producción científica: Contribución a una revistaArtículo de la conferenciarevisión exhaustiva

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Resumen

Photoluminescence (PL) and Raman spectra of silicon oxide films enriched by Si or Ge have been investigated before and after thermal annealing at 1150°C and 800°C, respectively. The dependences of PL peculiarities on the concentration of Si and Ge, as well as on the existence (or absence) of Si (Ge) quantum dots in silicon oxide films are analyzed. It is concluded that the PL spectrum of the oxide films enriched with Ge and at least the high-energy part of the spectrum of the films enriched with Si are due to defects in the silicon oxide films.

Título traducido de la contribuciónFotoluminiscencia de películas de óxido de silicio enriquecidas con Si o Ge
Idioma originalInglés
Páginas (desde-hasta)557-561
Número de páginas5
PublicaciónJournal of Luminescence
Volumen102-103
N.ºSPEC
DOI
EstadoPublicada - may. 2003
EventoProceedings of the 2002 International Conference on Luminescence - Budapest, Hungría
Duración: 24 ago. 200229 ago. 2002

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Fotoluminiscencia de películas de óxido de silicio enriquecidas con Si o Ge'. En conjunto forman una huella única.

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