Particle-induced damage effects on extreme UV (13.5-nm) source collector mirror optics

J. P. Allain, B. Holybee, M. List, A. Kacic, M. Nieto-Perez, M. R. Hendricks

Producción científica: Contribución a una conferenciaArtículo

1 Cita (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Particle-induced damage effects on extreme UV (13.5-nm) source collector mirror optics'. En conjunto forman una huella única.

Medicina y ciencias biológicas