Energetic Sn+ irradiation effects on ruthenium mirror specular reflectivity at 13.5-nm

J. P. Allain, M. Nieto-Perez, M. R. Hendricks, P. Zink, C. Metzmacher, K. Bergmann

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Energetic Sn+ irradiation effects on ruthenium mirror specular reflectivity at 13.5-nm'. En conjunto forman una huella única.

Ingeniería y ciencia de los materiales

Química