Validation of a CMOS-MEMS accelerometer based on FGMOS transduction by electromechanical modification of its coupling coefficient

G. S. Abarca-Jiménez, J. Mares-Carreño, M. A. Reyes-Barranca, B. Granados-Rojas, S. Mendoza-Acevedo, J. E. Munguía-Cervantes, M. A. Alemán-Arce

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Translated title of the contributionValidación de un acelerómetro CMOS-MEMS basado en traducción FGMOS por la modificación electromecánica en su coeficiente de acoplamiento
Original languageEnglish
JournalMicrosystem Technologies
DOIs
StatePublished - 2019

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